CryoPump rendszervezérlő egység

A CryoPump rendszervezérlő egység a teljes CryoPump rendszer "agya", amely felelős a Cryopump működésének pontos szabályozásáért és átfogó megfigyeléséért a Cryopump stabil és hatékony működésének biztosítása érdekében.

Főbb jellemzők:

• Működési vezérlés: A kriogén szivattyú elindításának és leállításának kulcsfontosságú feladatát vállalja, és pontosan beállíthatja a szivattyú sebességét a tényleges igény szerint. A sebesség beállításával a Cryopump szivattyúzási sebessége rugalmasan szabályozható, hogy alkalmazkodjon a különböző vákuumkörnyezetekhez és a folyamatigényhez. Például a félvezető gyártás különböző szakaszaiban a vákuumszint iránti kereslet dinamikusan változik, és a vezérlőegység ennek megfelelően beállíthatja a Cryopump sebességét, hogy fenntartsa a megfelelő vákuumállapotot.
• Paraméterek megfigyelése: A CryoPump rendszerben a kulcsfontosságú paraméterek sorozatának valós idejű megfigyelése, ideértve, de nem korlátozva a hőmérsékletet, a nyomást, a folyadékszintet stb. A CryoPump közvetlenül befolyásolja annak teljesítményét, és a vezérlőegység folyamatosan nyomon követi ezeket a hőmérsékleti adatokat annak biztosítása érdekében, hogy a berendezés a megfelelő hőmérsékleti tartományban működjön. Amint a paraméter rendellenesen ingadozik, a megfelelő védelmi mechanizmus azonnal elindul.
• Biztonsági védelem: beépített biztonsági védelmi mechanizmus a felszerelések és a személyzet biztonságának minden körben történő biztosítása érdekében. Amikor a rendszernyomást túl magasnak kell észlelni, a nyomáscsökkentő eszköz gyorsan megkezdi a súlyos balesetek, például a berendezések károsodása vagy akár a túlzott nyomás által okozott robbanás elkerülése érdekében; Ha a motor áramát túlterhelték, akkor időben vágja le a tápegységet, hogy elkerülje a motor kiégését. Ugyanakkor a szivárgásvédelem és a túl hőmérséklet védelme is rendelkezik, hogy szilárd biztonsági vonalat készítsen a rendszer stabil működéséhez.
• Hiba -diagnózis és riasztás: A Cryopump működési állapotának intelligens elemzése mindig, miután a rendellenes helyzetet megragadták, a hiba típusa és helye gyorsan és pontosan diagnosztizálható. Például, amikor a szivattyú szivattyúzási hatékonysága hirtelen csökken, a vezérlőegység elemzi a vonatkozó paramétereket annak meghatározására, hogy a szivattyú belsejében lévő adszorbens sikertelen -e, vagy a csővezeték kiszivárog. Miután a hibát megerősítették, egy hallható és vizuális riasztási jelet azonnal elküldik, és a hibainformációk egyértelműen megjelennek a kijelző képernyőn, hogy emlékeztessék az operátort, hogy időben kezelje.